锗同位素主要用于生产具有医疗用途的砷和硒放射性同位素。具体应用包括：Ge-74用于生产As-74，Ge-76用于生产As-77，Ge-74（重复提及）用于生产As-73，Ge-72用于生产As-72。虽然生产医用放射性同位素Se-73最常用的途径是通过天然砷（As-75），但Ge-70、Ge-72和Ge-74均可用于其制备。天然四氟化锗（GeF₄）被用于半导体预非晶化注入工艺，而使用Ge-72形式的GeF₄能优化该工艺并减少污染。此外，Ge-76还被用于双β衰变研究。